三坐标丈量机由主机、软件系统、电气（节造）系统和测头系统组成，以下内容重要就三坐标丈量机主机进行介绍。

以活动桥式三坐标丈量机为例：

1、工作台（通常选取花岗石），用于摆放零件支持桥架

工作台搁置零件时，通常要凭据零件的状态和检测要求，选择适合的夹具或支持。要求零件固定要靠得住，不使零件受表力变形或其地位产生变动。大零件可在工作台上垫等高块，幼零件能够放在固定在工作台上的方箱上固定后丈量。

2、桥架，支持 Z 滑架，形成相互垂直的三轴

桥架是丈量机的沉要组成部门，由主立柱和横梁、滑架等组成。桥架的驱动部门和光栅根基都在主立柱一侧，立柱重要起辅助支持的作用。由于这个原因，通常桥式丈量机的横梁长度不超过2.5 米，超过这个长度就要使用双光栅等措施对附立柱滞后的误差进行赔偿，或选取其他机构大局。

3、滑架，使横梁与有平衡装置的 Z 轴衔接

滑架衔接横梁和 Z 轴，其上有两轴的全数气浮块和光栅的读数头、吩禅座。气浮块和读数头的调整比力复杂，直接影响丈量机精度，不允许调整。

4、导轨，拥有精度要求的活动导向轨路，是基准

导轨是气浮块活动的轨路，是丈量机的基准之一。压缩空气中的油和水及空气中的尘埃会传染导轨，使丈量机的系统误差增大，影响丈量精度。要维持导轨路无缺，预防对导轨磕碰，定期清洁导轨。

5、光栅系统（光栅、读数头、零位片），是基准

光栅系统是丈量机的测长基准。光栅是刻有细密等距离刻线的金属或玻璃，读数头使用光学的步骤读取这些刻线推算长度。为了便于推算由于温度变动造成光栅长度变动带来的误差，选取光栅一端固定，另一端铺开，使其自由伸缩。另表在光栅尺座预置有温度传感器，便于有温度赔偿职能的系统进行自动温度赔偿。零位磁块的作用是使丈量机找到机械零点
；盗愕闶腔底晗档脑，是丈量机误差赔偿和丈量机行程终节造的基准。

6、驱动系统（伺服电机、传动带）

驱动系统由直流伺服电机、减速器、传动带、带轮等组成。驱动系统的状态会影响节造系统的参数，不能轻易调整。

7、空气轴承气路系统（过滤器、开关、传感器、气浮块、气管）

空气轴承（又称气浮块）是丈量机的沉要部件，重要职能是维持丈量机的各活动轴相互无摩擦，由于气浮块的浮起高杜仔限并且气孔很幼，要求压缩空气压力不变且其中不能含有杂质、油，也不能有水。过滤器系统是气路中的一路关卡，由于其过滤精度高，极度容易被压缩空气中的油传染，所以肯定要有前置过滤装置和管路进行前置过滤处置。气路中衔接的空气开关和空气传感器都拥有
；ぶ澳，不能轻易调整。

8、支承（架）、随动带

幼型丈量机选取支架支持丈量机工作台，钟注大型丈量机通常选取千斤顶支持工作台。都选取三点支持，在一个支持的一侧，有两个附助支持，只起保险作用。每个支持都有一个隔振，可能吸收振幅较幼的震荡，若是装置丈量机的左近有幅度较大的震荡源，要另表采取减震措施。