掩膜版是微电子造作中使用的图形转移工具或母版
，在平板显示、半导体、触控和电路板的造作过程中起着沉要作用。它属于精 密度较高的定造化产品
，在造作实现后
，需对其进行严格的精度检验
，以验证其与设计要求的一致性。

检测需要

这次客户必要对大批量的金属框及金属框+掩模版产品进行丈量
，产品长度领域为500mm-1870mm
，宽度领域为600mm-1500mm
，丈量需要蕴含产品多点位的平面XY坐标信息、指定点位的高度Z坐标信息以及金属框指定点相对平面的下垂量。

检测难点

掩膜板产品通常拥有较大的尺寸和沉量
，沉量领域在30kg到120kg之间
，且其产品特点多
，必要使用底光丈量步骤进行检测。在将这些产品搁置在平台上时
，必要确保平台没有出现显著的变形
，这对于丈量平台的承沉能力提出了挑战。

解决规划

海博论坛hibetVIEWMAX L是一款拥有专用平台并选取特殊尺寸的大行程影像仪
，平台周围选取大理石框架
，中央搭载玻璃平台
，产品可固定在大理石平台上
，可能解决产品搁置在玻璃平台上产生的变形问题
，确保丈量的正确性。此表
，VIEWMAX L影像仪使用经过PTB认证的专 业丈量软件PC-DMIS VISION
，能够对一样距离类似的检测特点元素阵列循环
，解决大批量一样元素编程耗时难点

检测过程

1、丈量mark 点并成立坐标系

2、抓取第 一个矩形框
，共计4条直线。

a)  机关点
，别离机关四条线的订交点;

b) 机关线
，机关对角线;

c) 机关点
，选择两条对角线
，求订交点。

3、特点地位
，并输出订交点XY值。

4、阵列。

a)  复造必要阵列的元素及尺寸评价

b)  选择“编纂-阵劣妆

c)  设置偏置距离及偏置次数

d)  选择“编纂-阵列粘贴”

5、激光在基准平面周围取四个激光点。

a)机关平面
，选择四个激光点。

b)成立坐标系
，面Z正找正
，面为Z原点.

6、白光检测矩形框的交叉点Z值
，检测下垂量。

7、汇报输出

海博论坛hibet掩膜版检测规划高 效精 准
，通过底光丈量和高精度传感器正确获取产品状态尺寸信息
，援手厂商严格节造质量
，保障产品合格。海博论坛hibet提供全 面技术支持和售后服务
，优化造作效能与产品质量
，援手客户获得正确的检测了局和优 质的使用履历。